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薄膜、厚膜压力传感器和压阻传感器测量原理


发布日期:[2018-09-04]    作者:昊明压力传感器厂家


  虽然,对于大多数应用程序,传感器原理或压力传感器的功能测量原理的选择是不重要的,我们还经常被问及如何集成在我们的压力传感器和压力变送器的传感器元件的工作。首先,我们想给一个一般的定义:压力传感器或压力传感器元件的测量元件,将压力物理量转换为电量,压力成正比。不同的物理效应和不同传感器的材料如硅、陶瓷或金属的使用。昊明采用工业测量中最常见的3个压力的测量原理、仪器都是在我们自己的实验室自己研制的制造:

  1. 薄膜压力传感器基于同样的原则,应变计,这是网格型电阻结构的几何拉伸和压缩导致可测量的电阻变化引起的长度和厚度的差异引起的。用于薄膜传感器,四个电阻安装在惠斯登电桥形式膜片检测压力下膜片的变形。在“薄膜工艺,这些应变计连接到一个(如金属)的基本要素和结构(溅射与相关的光刻和蚀刻)。
  2. 厚膜压力传感器,像薄膜传感器,使用四个电阻组成的惠斯登电桥。电阻的结构是“印刷”上的基元(如陶瓷基地)采用厚膜工艺,然后在高温燃烧。这里的电阻变化是由于膜片的变形,通过拉伸和压缩的材料造成的几何变化引起的。
  3. 压阻式压力传感器,相比于前两个原则,利用半导体(硅)与选择性扩散结构测量膜片。他们使用的压阻效应,这是基于被拉伸和压缩引起的半导体材料的电阻变化,从而影响电子的流动应力下。

薄膜、厚膜压阻式压力传感器